抗蚀剂的干法显影技术研究

在以前还只是处于想象境地的抗蚀剂干显影（等离子体显影）已展示实现的可能性，一方面开发了能够干显影的抗蚀剂，另一方面还发展了能对现有抗蚀剂作干显影的新工艺。本文简述了至今为止所发表的抗蚀剂的干显影技术和技术动向，也介绍了我们所做的有关工作。