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| 薄膜-基底的几个力学问题 | |
| 引用本文： | 余寿文.薄膜-基底的几个力学问题[J].力学与实践,1993,15(4):1-8. |
| 作者姓名： | 余寿文 |
| 作者单位： | 北京清华大学航天学院 |
| 摘 要： | 本文介绍了近年微电子薄膜-基底组件的几个力学问题:连接件边界及端部的应力集中和应力奇异性;不同薄膜-基底和界面的组合与相应的破坏模式和力学分析,薄膜与界面的力学参量的测试方法,文末提出了薄膜-基底组件的几个需要进一步研究的力学问题. |
| 关 键 词： | 薄膜-基底 薄膜力学 界面力学 破坏模式 应力奇异性 |
| 收稿时间： | 2006-08-23 |
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