| 中长双色红外焦平面探测器组件技术研究 |
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| 引用本文： | 耿松,杨晋,李树杰,覃钢,李立华,赵俊,李艳辉,孔金丞,赵鹏,左大凡,胡彦博,梁艳,任洋.中长双色红外焦平面探测器组件技术研究[J].红外与毫米波学报,2023,42(3):292-299. |
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| 作者姓名： | 耿松 杨晋 李树杰 覃钢 李立华 赵俊 李艳辉 孔金丞 赵鹏 左大凡 胡彦博 梁艳 任洋 |
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| 作者单位： | 昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223,昆明物理研究所，云南 昆明650223 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项~~； |
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| 摘 要： | 在(211)B碲锌镉衬底上，采用分子束外延生长制备了PPP型中长双色碲镉汞材料，通过台面孔刻蚀、侧壁钝化等工艺，实现中长双色640×512红外焦平面探测器组件研制。中长双色碲镉汞材料测试结果表明，表面宏观缺陷(2～10μm)密度统计分布约773 cm-2，同时对材料进行了XRD双晶衍射半峰宽(FWHM)测试和位错腐蚀坑(EPD)统计，XRD测试FWHM约31.9 arcsec,EPD统计值约为5×105 cm-2；双色器件芯片台面刻蚀深度达到8μm以上，深宽比达到1∶1以上，侧壁覆盖率达到72.5%。中长双色红外焦平面组件测试结果表明，中波波长响应范围为3.6～5.0μm，长波波长响应范围为7.4～9.7μm，中波向长波的串音为0.9%，长波向中波的串音为3.1%，中波平均峰值探测率达到3.31×1011 cm·Hz1/2/W,NETD为17.7 mK；长波平均峰值探测率达到6.52×1010 cm·Hz1/2/W,NETD为32.8mK；中波有效像元率达到99.46%，长波有效像元率达到98.19%，初步实现中长双色红外焦平面组件研制。
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| 关 键 词： | 中长双色 碲镉汞 分子束外延 等离子体刻蚀 串音 |
| 收稿时间： | 2022/9/25 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2023/4/4 0:00:00 |
Study of MW/LW dual-band IRFPAs detector assemblies |
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| GENG Song,YANG Jin,LI Shu-Jie,QIN Gang,LI Li-Hu,ZHAO Jun,LI Yan-Hui,KONG Jin-Cheng,ZHAO Peng,ZUO Da-Fan,HU Yan-Bo,LIANG Yan and REN Yang.Study of MW/LW dual-band IRFPAs detector assemblies[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2023,42(3):292-299. |
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| Authors: | GENG Song YANG Jin LI Shu-Jie QIN Gang LI Li-Hu ZHAO Jun LI Yan-Hui KONG Jin-Cheng ZHAO Peng ZUO Da-Fan HU Yan-Bo LIANG Yan and REN Yang |
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| Institution: | Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MW/LW dual-band HgCdTe MBE plasma etch cross-talk |
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