快速晶闸管通态特性的改善 |
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引用本文: | 刘国辉,田石.快速晶闸管通态特性的改善[J].半导体技术,2014(3):188-192. |
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作者姓名: | 刘国辉 田石 |
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作者单位: | 锦州天维电子有限公司; |
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摘 要: | 从协调快速晶闸管主要参数之间矛盾关系、降低功率损耗以及并联均流应用等方面,论述了改善快速晶闸管通态特性的重要意义。在影响晶闸管通态压降的主要因素中,着重分析了提高晶闸管j3结的注入比降低通态压降的机理。为获得比较理想的杂质浓度分布,增大j3结两侧杂质浓度的比值,在快速晶闸管的制造中,p型扩散工艺采用了固态源闭管式镓铝双质掺杂技术。研究结果表明:采用该技术制造的快速晶闸管,通态基本特性参数具有较好的一致性,通态压降明显降低,通态特性明显改善,关断时间与通态压降的关系也得到了合理的协调,提高了器件的综合电气性能。
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关 键 词: | 快速晶闸管 通态特性 镓铝双质掺杂 杂质浓度分布 注入比 |
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