|
|||||
|
|
| 利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究 | |
| 作者姓名： | 侯海虹 孙喜莲 田光磊 吴师岗 马小凤 邵建达 范正修 |
| 作者单位： | (1)常熟理工学院物理系,常熟 215500;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800 |
| 基金项目： | 江苏省高校自然科学研究项目（批准号：KY200684）和江苏省高校“青蓝工程”资助的课题. |
| 摘 要： | 利用总积分散射仪对不同条件下制备的金属银膜、Y2O3稳定ZrO2（YSZ）薄膜、TiO2薄膜和1064 nm与532 nm双波长增透膜的表面均方根（RMS）粗糙度和散射特性的变化规律进行了系统研究,并与样品的制备条件、生长过程、材料组成及光学特性等各方面相结合,对测量结果做出了合理解释,从而使总积分散射测量在其他领域的研究得以扩展和应用.
关键词：
光学薄膜
表面散射
总积分散射仪 |
| 关 键 词： | 光学薄膜 表面散射 总积分散射仪 |
| 收稿时间： | 2008-03-26 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |