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| 新颖的激光清洗技术 | |
| 引用本文： | 王豫,陆冬生.新颖的激光清洗技术[J].物理,1996,25(9):544-549. |
| 作者姓名： | 王豫 陆冬生 |
| 作者单位： | 华中理工大学激光技术国家重点实验室 |
| 基金项目： | 激光技术国家重点实验室资助 |
| 摘 要： | 利用激光来清除各种器件及材料表面上吸附的各种微粒及污染物，是近年来激光技术应用的一个迅速发展的方向．文章概述了激光清洗技术的最新发展，介绍了激光清洗技术的基本工艺过程及物理机制，讨论了其应用及发展方向等有关问题． |
| 关 键 词： | 激光应用 污染物 清洗 |
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