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| 微波等离子体化学气相沉积金刚石膜 | |
| 引用本文： | 胡海天,盛奕建.微波等离子体化学气相沉积金刚石膜[J].物理,1996,25(11):688-696. |
| 作者姓名： | 胡海天 盛奕建 |
| 作者单位： | [1]中国科学院等离子体物理研究所 [2]中国科学技术大学无线电电子学系 |
| 摘 要： | 微波等离子体化学气相沉积是制备金刚石膜的一个重要方法，能制备出表面光滑平整的大面积均匀金刚石膜，文章概述了ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜的情况，介绍了ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜装置的典型类型及其特点，在国内研制成功天线耦合石英钟罩式ＭＰＣＶＤ制备金刚石膜装置，并在硅片上沉积出大面积均匀的优质金刚石膜。 |
| 关 键 词： | 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 |
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