| 一种硅微型加速度计的制备与测试方法研究 |
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| 引用本文： | 张燕娥. 一种硅微型加速度计的制备与测试方法研究[J]. 中国惯性技术学报, 1998, 6(4): 56-60 |
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| 作者姓名： | 张燕娥 |
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| 作者单位： | 东南大学 |
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| 摘 要： | 本文介绍了硅微型扭摆式静电力平衡加速度计的工作原理、结构设计、制备技术及测试方法，这对于研制硅微型加速度计具有一定的参考价值。
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| 关 键 词： | 硅微加速度计 制备 测试 |
| 修稿时间： | 1998-08-25 |
A Study of Preparation Technologues and Testing Methods of a MicroSilicon Accelerometer |
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| Zhang Yane. A Study of Preparation Technologues and Testing Methods of a MicroSilicon Accelerometer[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 1998, 6(4): 56-60 |
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| Authors: | Zhang Yane |
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| Abstract: | The operation principle, construction design, preparation technologues and testing methods of the microsilicon electrostatically forcebalanced accelerometer with torsional pendulum are introdued in this paper. It has certain reference value for developing microsilicon accelerometer. |
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| Keywords: | microsilicon accelerometer preparation testing |
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