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| 椭圆型激光驻波场作用下Cr原子的汇聚特性研究 | |
| 作者姓名： | 张文涛 朱保华 熊显名 |
| 作者单位： | 桂林电子科技大学电子工程学院,桂林 541004 |
| 基金项目： | 广西壮族自治区教育厅科学研究基金（批准号： 200807MS006）资助的课题. |
| 摘 要： | 利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米级条纹沉积技术是一种新型的研制纳米结构长度标准传递的方法.分析了Cr原子在椭圆型激光驻波场作用下的沉积特性,分别对不同椭圆激光驻波场功率下Cr原子的沉积条纹及不同y平面上沉积条纹特性进行了模拟和分析.同时针对椭圆激光驻波场作用下Cr原子发散角对沉积条纹特性的影响进行了模拟计算,比较了不同发散角条件下沉积条纹的对比度和半高宽.
关键词：
原子光刻
椭圆激光驻波场
Cr原子 |
| 关 键 词： | 原子光刻 椭圆激光驻波场 Cr原子 |
| 收稿时间： | 2008-11-21 |
| 修稿时间： | 2009-04-02 |
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