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| 跑道状场发射结构研究 | |
| 引用本文： | 蔡军,王保平.跑道状场发射结构研究[J].中国科学技术大学学报,1997,27(4):399-403. |
| 作者姓名： | 蔡军 王保平 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学，香港科学技术大学 |
| 摘 要： | 作者设计了一种新颖的单栅和双栅跑道状场发射结构．该结构可提供好的阵列均匀性和大的场发射电流密度．双栅机构可提供小的开启电压．实验结果表明单栅结构的开启电压近似为１００Ｖ，而场发射电流密度近似为２．４Ａ／ｃｍ２，这是火山口状场发射结构的１２倍．数值模拟显示双栅结构的开启电压较之单栅结构减小了３０％． |
| 关 键 词： | 跑道状场发射结构，微电子学，高场发射电流密度，低开启电压 |
Research on the Race-Track-Shaped Field Emitter Structure |
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