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采用非致冷微悬臂探测器的红外成像技术
引用本文:
高国龙.采用非致冷微悬臂探测器的红外成像技术[J].红外,2003(12):33-37.
作者姓名:
高国龙
作者单位:
摘 要:
1 引言 热红外探测和成像技术在商业、工业、医学及军事领域具有广泛的用途。然而,现有红外成像技术的限制因素依然是红外摄像机成本
关 键 词:
微悬臂探测器
红外成像技术
反应离子蚀刻法
象限元读出
CCD
分辨率
光路设计
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