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采用非致冷微悬臂探测器的红外成像技术
引用本文:高国龙.采用非致冷微悬臂探测器的红外成像技术[J].红外,2003(12):33-37.
作者姓名:高国龙
作者单位: 
摘    要:1 引言 热红外探测和成像技术在商业、工业、医学及军事领域具有广泛的用途。然而,现有红外成像技术的限制因素依然是红外摄像机成本

关 键 词:微悬臂探测器  红外成像技术  反应离子蚀刻法  象限元读出  CCD  分辨率  光路设计
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