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| 不同气压环境对飞秒激光在铬膜表面诱导周期性条纹结构的影响 | |
| 引用本文： | 刘琦,张楠,杨建军.不同气压环境对飞秒激光在铬膜表面诱导周期性条纹结构的影响[J].光子学报,2018(7). |
| 作者姓名： | 刘琦 张楠 杨建军 |
| 作者单位： | 南开大学电子信息与光学工程学院现代光学研究所;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 摘 要： | 实验研究了蓝色飞秒激光(1kHz,50fs,400nm)在105 Pa(标准气压)和10-3 Pa两种不同气压环境下,在单晶硅衬底的金属铬膜表面形成亚波长(~250nm)一维周期性条纹结构的情况,分析比较了入射激光能流、样品扫描速度、样品薄膜厚度等参数对表面条纹结构的影响.结果表明,10-3 Pa的真空环境可以有效改善铬膜表面亚波长条纹结构的形成质量;随着铬膜厚度的减小(100~25nm),表面条纹质量逐渐提高,但当铬膜太薄(≤25nm)时材料表面易出现烧蚀不均匀现象;另外,随着飞秒激光能流密度的降低或扫描速度的增大,条纹结构的空间周期将会减小,此时条纹之间的沟槽内逐渐出现纳米线分布. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |