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| 离焦位置任意波长透射波前Zernike系数算法研究 | |
| 引用本文： | 张齐元,韩森,唐寿鸿,王全召,姜志华.离焦位置任意波长透射波前Zernike系数算法研究[J].光子学报,2018(7). |
| 作者姓名： | 张齐元 韩森 唐寿鸿 王全召 姜志华 |
| 作者单位： | 长春理工大学光电工程学院;上海理工大学光电信息与计算机工程学院;苏州慧利仪器有限责任公司;苏州维纳仪器有限责任公司;上海市计量测试研究院机械与制造计量技术研究所 |
| 摘 要： | 基于Zernike多项式波前拟合法,提出计算离焦位置任意波长透射波前Zernike系数的算法,在聚焦位置Zernike系数基础上补偿离焦距离内Zernike系数变化量.以典型的消色差望远物镜为例,根据设计波长及权重优化其工作位置,计算不同波长的聚焦位置与工作位置的离焦量,使用该算法验证消色差系统工作位置任意波长Zernike系数.与在工作位置直接使用Conrady-Zernike公式对比表明,该算法对于与位置有关的Zernike系数计算效果明显,Z1的绝对误差由6.78降低到了1.41,Z4的绝对误差由6.83降低到了1.45. |
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