| 基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 |
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| 引用本文： | 匡尚奇,张超,李硕,杨海贵,霍同林,周洪军.基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制[J].光子学报,2018(4). |
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| 作者姓名： | 匡尚奇 张超 李硕 杨海贵 霍同林 周洪军 |
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| 作者单位： | 长春理工大学理学院;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室;中国科学技术大学国家同步辐射实验室; |
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| 摘 要： | 提出了一种基于量子遗传算法的宽带极紫外多层膜的离散化设计方法,解决了在膜系设计中普遍采用的遗传算法存在求解精度低的问题.同时在基于量子遗传算法的膜系设计方法中对膜系进行了离散化设计,解决了在仅由时间控制膜厚且沉积速率较大的镀膜系统中的膜厚高精度控制的问题.依据量子遗传算法的膜系设计结果采用磁控溅射镀膜系统镀制宽带极紫外多层膜.测试结果表明,宽角度极紫外多层膜的入射角为0°~15°,反射率达45%以上;宽光谱极紫外多层膜的入射波长为13~15nm,反射率达20%以上.相关研究工作为宽带极紫外多层膜的研发提供了另一种可供选择的且较优的搜索优化算法,同时该算法结合实验,实现膜厚的离散化设计,使镀制出的多层膜具有较好的光谱性能.
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