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| 石墨烯/二氧化钛异质结场效应探测器光电特性 | |
| 引用本文： | 周全,张恩亮,白向兴,申钧,魏大鹏,汪岳峰.石墨烯/二氧化钛异质结场效应探测器光电特性[J].光子学报,2018(6). |
| 作者姓名： | 周全 张恩亮 白向兴 申钧 魏大鹏 汪岳峰 |
| 作者单位： | 中国人民解放军陆军工程大学电子与光学工程系;中科院重庆绿色智能技术研究院 |
| 摘 要： | 利用二氧化钛薄膜光吸收及表面钝化特性,在硅晶圆基底表面制备石墨烯/二氧化钛异质结场效应管光电探测器,并研究其光电响应特性.结果表明,二氧化钛钝化后的探测器可以有效抑制沟道表面的气体小分子吸附,降低器件的暗电流漂移;同时,探测器利用石墨烯的电荷敏感和复合薄膜的光谱吸收特性,显著提高了石墨烯场效应管的响应度.紫外波段,顶层二氧化钛吸光产生的光生电子将注入到石墨烯沟道中,对石墨烯沟道产生n型掺杂,器件最大响应度可达3.5×10~5A/W.在可见光波段,因为二氧化钛层与石墨烯薄膜间存在杂质能级,界面间的电荷转移使沟道载流子寿命显著提高.相对于传统的二氧化钛阵列探测器,该探测器在响应波段与响应度性能上都具有明显优势. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |