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| 装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响 | |
| 作者姓名： | 赵思伟 田爱玲 王大森 刘丙才 朱学亮 刘卫国 |
| 作者单位： | 1.西安工业大学 光电工程学院, 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710021 |
| 基金项目： | 科技部国际合作项目(No.2015DFA10360)和总装备部项目(No.JCKY2016208A001)资助() |
| 摘 要： | 针对立式大口径平面干涉仪,采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法,研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响.运用ANSYS有限元分析方法研究了不同参数下的装夹和自重变形情况,得到了最优的装夹参数为环带宽度15mm、平面厚度90mm,此时的变形量峰谷值为0.023 |
| 关 键 词： | 光学检测 有限元分析法 三平面互检 装夹自重变形 绝对检测 |
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