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| 装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响 | |
| 作者姓名： | 赵思伟 田爱玲 王大森 刘丙才 朱学亮 刘卫国 |
| 作者单位： | 西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;中国兵器科学院宁波分院; |
| 摘 要： | 针对立式大口径平面干涉仪,采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法,研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响.运用ANSYS有限元分析方法研究了不同参数下的装夹和自重变形情况,得到了最优的装夹参数为环带宽度15mm、平面厚度90mm,此时的变形量峰谷值为0.023λ(λ=632.8nm).通过参考平面装夹自重变形对测量结果影响的模拟检测试验和对比分析,发现参考平面装夹自重变形不仅影响其自身的面形,而且对未变形大口径平面的绝对面形检测结果也有较大影响,面形残差峰谷值基本都在0.011λ,尤其在高精度干涉测量中该影响不可忽略.研究结果可为高精度测量的变形补偿提供参考. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |