| 基于ZnO/Si结构的声表面波器件设计研究 |
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| 引用本文： | 何兴理,周剑,金浩,董树荣,王德苗. 基于ZnO/Si结构的声表面波器件设计研究[J]. 压电与声光, 2013, 35(1): 1-3 |
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| 作者姓名： | 何兴理 周剑 金浩 董树荣 王德苗 |
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| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程学系,浙江杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学重点基金资助项目(60936002);国家自然科学基金资助项目(61171038) |
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| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)工艺已被广泛用于制造各种硅基薄膜器件.声表面波(SAW)器件是性能优良的MEMS器件.该文利用多物理耦合场软件COMSOL Multiphysics仿真了氧化锌/硅(ZnO/Si)结构SAW谐振器,并得到其S11参数.对应于仿真,该文制造了该种结构的SAW器件.实验所用的ZnO通过射频磁控溅射制备,所制备的ZnO具有良好的(002)取向.实验测得的ZnO/Si结构SAW器件的中心频率为111.6 MHz,与仿真结构接近.
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 声表面波 COMSOL 氧化锌/硅 |
Design Study on SAW Devices Based on ZnO/Si Structure |
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| HE Xingli,ZHOU Jian,JIN Hao,DONG Shurong and WANG Demiao. Design Study on SAW Devices Based on ZnO/Si Structure[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2013, 35(1): 1-3 |
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| Authors: | HE Xingli ZHOU Jian JIN Hao DONG Shurong WANG Demiao |
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| Affiliation: | (Dept.of Info Science & Electronics Engineering,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS surface acoustic wave(SAW) COMSOL ZnO/Si |
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