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高能质子源靶用氢化铒薄膜制备过程影响因素
引用本文:付志兵, 王朝阳, 李朝阳, 等. 高能质子源靶用氢化铒薄膜制备过程影响因素[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(08).
作者姓名:付志兵  王朝阳  李朝阳  张厚琼  杨曦  许华
作者单位:1.中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621 900
摘    要:采用两步法制备了高能质子源靶用氢化铒薄膜。并研究了氢化时间、氢化速度等因素对氢化铒薄膜质量的影响。XRD结果显示,只有氢化时间超过24 h才能获得较纯净的氢化铒薄膜。将氢化反应温度和氢气压力控制在适当范围内,使得铒薄膜缓慢被氢化并使得氢化过程所产生的应力缓慢释放,可获得较完整的氢化铒薄膜。所获得的5~15 μm氢化铒薄膜已经应用于高能质子束的产生实验,取得了良好的实验结果。

关 键 词:高能质子束   氢化铒薄膜   影响因素   反应温度   氢气压力
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