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直流反应磁控管溅射产生的氮化钛薄膜沉积及其性质
引用本文:
甘德昌.直流反应磁控管溅射产生的氮化钛薄膜沉积及其性质[J].等离子体应用技术快报,1996(3):17-18.
作者姓名:
甘德昌
摘 要:
关 键 词:
磁控管
溅射
氮化钛
薄膜
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