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利用硼等离子体化学输运制备氮化硼薄膜

引用本文：	晓青.利用硼等离子体化学输运制备氮化硼薄膜[J].等离子体应用技术快报,1996(7):5-6.

作者姓名：	晓青

摘要：
关键词：	氮化硼等离子体化学输送薄膜
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