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用不同方法得到的氮化钛膜的成份和化学性能
引用本文:周小兵.用不同方法得到的氮化钛膜的成份和化学性能[J].等离子体应用技术快报,1996(1):15-16.
作者姓名:周小兵
摘    要:

关 键 词:氮化钛膜  膜结构  性能  膜制备
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