用有机金属先驱粒子实现硅,锗和锡的氮化物薄膜的PECVD 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

用有机金属先驱粒子实现硅,锗和锡的氮化物薄膜的PECVD

作者姓名：	普丁

摘要：
关键词：	锗锡氮化物薄膜 PECVD
本文献已被维普等数据库收录！