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电子束沉积ZrO2—SnO2薄膜

引用本文：	袁晓源.电子束沉积ZrO2—SnO2薄膜[J].等离子体应用技术快报,1996(3):3-4.

作者姓名：	袁晓源

摘要：
关键词：	电子束沉积薄膜二氧化锆
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