| 用于单片集成热真空传感器的Σ-Δ调制器设计 |
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| 引用本文： | 李金凤,唐祯安.用于单片集成热真空传感器的Σ-Δ调制器设计[J].微电子学,2010,40(4). |
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| 作者姓名： | 李金凤 唐祯安 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学,电子工程系,辽宁,大连,116024;沈阳化工学院,信息工程学院,辽宁,沈阳,110142
2. 大连理工大学,电子工程系,辽宁,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 设计了一款适用于集成热真空传感器的二阶1位Σ-Δ调制器.该调制器采用前馈通道抑制积分器的输出摆幅、降低谐波失真、提高动态范围.为了降低运算放大器的1/f噪声,积分器中引入相关双采样电路.利用Matlab/Simulink,分析运算放大器的非理想性对调制器性能的影响.调制器由全差分开关电容电路实现.仿真结果表明:在4 MHz采样频率和6.8 kHz信号输入频率、-3 dBFS幅值下,电路的最大信噪比为86.9 dB,分辨率可达14位.调制器的有效面积为0.67 mm2.3 V电源电压供电时,功耗为12 mW,各项性能指标均满足设计要求.
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| 关 键 词： | 集成传感器 Σ-Δ调制器 相关双采样 开关电容电路 |
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