半球谐振子外球面加工原理误差分析及实验研究 |
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引用本文: | 刘军汉,熊长新,曲天良,车驰骋.半球谐振子外球面加工原理误差分析及实验研究[J].光学技术,2022(3):295-300. |
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作者姓名: | 刘军汉 熊长新 曲天良 车驰骋 |
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作者单位: | 华中光电技术研究所武汉光电国家研究中心 |
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摘 要: | 通过对“范成法”加工半球谐振子外球面的机理分析,推导出外球面曲率半径的计算公式,分析出影响谐振子外球面形状误差的主要因素为砂轮的形状误差、机床的轴系定位偏差和机床旋转轴的跳动。砂轮形状误差包括砂轮中径误差和砂轮刃口半径误差,机床轴系定位偏差包括X、Y和B轴定位偏差,机床旋转轴跳动包括径向跳动和轴向跳动。通过优化外球面加工工艺参数,加工得到的谐振子外球面圆度小于0.25μm,同心度小于0.4μm,表面粗糙度小于0.02μm,谐振子品质因数大于2.6×107。
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关 键 词: | 半球谐振子 范成法 球面 圆度 表面粗糙度 品质因数 |
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