激光差动共焦曲率半径快速测量方法

针对大批量球面光学元件曲率半径的快速、高精度、非接触测量难题，提出一种基于差动共焦技术的批量元件曲率半径快速测量方法。先将一已知曲率半径的样件S₀在其共焦位置进行扫描定焦，获取其差动共焦曲线和线性段方程；依次装卡同批次被测元件S₁-S_n并无扫描地获得其离焦量；根据样件曲率半径和被测件离焦量换算出被测样品曲率半径。仿真和实验表明，精度可达12.2ppm,同时测量速度比传统式差动共焦曲率半径扫描系统提高59倍。方法仅需1次扫描和N次快速装卡即可实现N件球面元件曲率半径的快速、高精度、非接触式检测，为大批量球面元件的高效率、高精度加工检测提供全新途径。