偏光干涉法测量波片相位延迟量和厚度 |
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作者姓名: | 王伟 苏富芳 陈建中 高尚 刘栋 |
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作者单位: | 1. 山东交通学院理学院;2. 曲阜师范大学物理工程学院山东省激光偏光与信息技术重点实验室 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(11904394);;山东省自然科学基金(ZR2017MA040,ZR2020MF102); |
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摘 要: | 基于偏光干涉理论,提出一种宽光谱范围内测量波片相位延迟量和厚度的方法。利用矩阵光学方法分析了光谱透射率曲线与中值透射率直线交点波长之间的关系,给出待测波片的相位延迟量、波片厚度等多个物理量的计算公式并进行了误差分析。误差分析表明本方法相位延迟量测量最大误差为3.38°,厚度测量最大误差为0.66μm。实验上利用分光光度计验证了本方法的有效性。本方法能够实现波片多物理量的同时测量,且调节过程对于起偏器、检偏器透光轴方向及待测波片快轴方向无严苛要求,测量过程对波片也无损伤和污染,在波片加工、使用前质量评估等方面都具有一定的应用价值。
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关 键 词: | 相位延迟量 透射率 波片 偏光干涉 |
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