基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究 |
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引用本文: | 李若琨,陈磊,马致遥,张喆,胡晨辉,郑东晖,胡志豪.基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究[J].光学技术,2022(6):684-689. |
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作者姓名: | 李若琨 陈磊 马致遥 张喆 胡晨辉 郑东晖 胡志豪 |
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作者单位: | 南京理工大学电子工程与光电技术学院 |
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摘 要: | 奇偶函数法与N次旋转法是平面绝对检验方法中常用的两种方法,这两方法在恢复面形的过程中都使用了奇偶函数分解算法,但是在求解奇奇项方面使用的方法不同,对比了这两种绝对检验方法。在奇偶函数法与N次旋转法的算法仿真过程中加入待测平晶重力形变的有限元分析,并对100mm口径平晶进行奇偶函数法与N次旋转法实验,将面形恢复结果与液面法测量结果对比,结果显示奇偶函数法恢复面形的PV值差值为4.864nm,N次旋转法恢复面形的PV值差值为1.853nm。结果表明存在重力影响时,N次旋转法恢复面形精度优于奇偶函数法。仿真分析旋转角度误差对于奇偶函数法与N次旋转法的影响,结果显示N次旋转法抗旋转角度误差能力强于奇偶函数法。
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关 键 词: | 干涉测量 平面绝对检验 奇偶函数法 N次旋转法 有限元分析 |
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