| 多层增透薄膜透射特性仿真分析 |
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| 引用本文： | 张文涛,朱保华,汪杰君.多层增透薄膜透射特性仿真分析[J].光子学报,2014(Z1). |
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| 作者姓名： | 张文涛 朱保华 汪杰君 |
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| 作者单位： | 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院; |
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| 基金项目： | 广西自然科学基金(No.2013GXNSFDA019002);广西科学研究与技术开发课题(No.桂科合1346010-5);桂林市科学研究与技术开发课题(No.20130122-1);桂林电子科技大学创新团队基金资助 |
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| 摘 要： | 基于多层薄膜的组成特性,建立了可见光波段以氧化铪和二氧化硅为高、低折射率材料的多层增透膜模型,计算机仿真结果表明:当膜层为单层膜时,其中心透射率为17.31%,通带宽度为102nm;而当膜层增至十一层和二十一层时,其中心透射率分别达到了99.30%和99.99%,但其通带宽度却分别下降至57.1nm和50.2nm.研究表明:随着膜层的不断增加,膜系的透射率也在逐渐增加,且透射率增加的趋势随着膜层数增加而变缓,峰值透射波长缓慢减小,通带半宽度也逐渐变小.
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| 关 键 词： | 应用光学 激光技术 仿真 增透膜 透射率 通带宽度 膜系结构 多层膜 |
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