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| 新型傅里叶变换光谱仪信号采集系统光学设计及仿真 | |
| 作者姓名： | 杨艺宁 朱永 陈建君 李阳 刘宇 王宁 |
| 作者单位： | 重庆大学光电工程学院; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(No.60976084)资助 |
| 摘 要： | 将基于微光机电系统的微镜阵列与倾斜反射镜相结合,构建应用于中红外波段的微型化便携式傅里叶变换光谱仪.在阐述了该光谱仪工作原理的基础上,通过对微镜衍射特性分析,提出了信号采集系统光路设计要求,并结合ZEMAX软件进行了光学设计与仿真,结果表明:在2.5~3.5μm波长范围内,保证微镜选通列与非选通列间反射光互不干扰的情况下,本文所设计的信号采集系统可将80%以上的干涉信号会聚到5mm×5mm的单点探测器中. |
| 关 键 词： | 微光机电系统 中红外 傅里叶变换 光学设计 |
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