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| 碱金属气氛对SEM管硅靶污染的研究 | |
| 引用本文： | 成建波.碱金属气氛对SEM管硅靶污染的研究[J].应用光学,1981(2). |
| 作者姓名： | 成建波 |
| 作者单位： | 成都电讯工程学院 |
| 摘 要： | 本文从碱金属对SEM管及象增强器等器件的管内元件的污染入手,介绍了碱金属对SEM管硅靶的污染现象,在分析碱金属对硅靶污染机理的基础上,提出了避免污染的方法,并给出了采用此种方法后的试验效果。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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