氢气、氢气/硅烷等离子体时间分辨光发射谱的研究 |
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作者姓名: | 张发荣 张晓丹 AMANATIDES E 赵颖 |
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作者单位: | 天津职业大学 生物与环境工程学院,天津,300410;南开大学 光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学), 天津 300071;希腊帕特雷大学 等离子体技术实验室,希腊 帕特雷 26500 |
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基金项目: | 国家自然科学基金;天津市自然科学基金;天津职业大学校基金项目 |
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摘 要: | 为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态微观动力学过程的清晰图像。纯氢气辉光条件下,在一个射频周期内,H_β时间分辨光发射谱出现了4个峰。分析表明其中两个峰是由电子冲浪效应引起,额外两个峰的出现是由瞬时阳极时刻存在额外电场所致。另外,可观察到随着气压的增大,体欧姆加热效应增强。同氢气相比,当硅烷引入后,H_β时间分辨光发射谱由原来4个明显发射峰变成了两个明显发射峰。
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关 键 词: | 等离子体 光发射谱 微观动力学 |
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