近场扫描光电显微镜中一种新的切向力检测系统

在近场扫描光学显微镜（ＮＳＯＭ）＾［１］中，近场距离控制一般要用切向力控制法。检测切向力有两种方法：光学检测法和非光学检测法。目前普遍采用非光学检测法，基本上是采用压电陶瓷管控制探针和样品的距离。本文提出一种新的切向力检测系统，利用双压电片实现近场距离控制。实验结果表明，检测灵敏度大大提高，扫描力显微（ＳＦＭ）像的分辨率可达纳米量级。