一种采用快速半导体线光源的阴影莫尔测量方法 |
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引用本文: | 李根乾,谭玉山.一种采用快速半导体线光源的阴影莫尔测量方法[J].光子学报,2000,29(Z1):381-385. |
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作者姓名: | 李根乾 谭玉山 |
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作者单位: | [1]西北工业大学,西安710072 [2]西安交通大学,西安710049 |
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摘 要: | 物体三维轮廓、形变、振动、位移等参量的光电测量方法,以其非接触、高精度、高灵敏度以及易于实现自动测量等优点,而被广泛地应用。本文设计并实现了一种快速半导体线光源,提出了一种快速变光源阴影莫尔物体轮廓测量法,大大提高了阴影莫尔测量的速度和精度,实现了非接触、无机械运动、无运行噪声、全光电测量的IC形变测量与分析系统。该系统的3σ重复精度为10μm。
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关 键 词: | 半导体线光源 阴影莫尔测量 变光源 |
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