| 高功率行波管收集极中BeO瓷的表面分析 |
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| 引用本文： | 姬洪,常嗣和,王志红,荣丽梅,史青.高功率行波管收集极中BeO瓷的表面分析[J].电子显微学报,2002,21(5):759-760. |
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| 作者姓名： | 姬洪 常嗣和 王志红 荣丽梅 史青 |
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| 作者单位： | 1. 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
2. 成都理工大学,四川,成都,610059 |
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| 摘 要： | 对于高功率行波管收集极的研制 ,其内筒和外水套材料选用无氧铜 ,而在内筒外壁上密排列着若干适当形状尺寸的ＢｅＯ瓷棒 ,它们起隔离内筒和外水套作用。鉴于ＢｅＯ陶瓷的导热能力强 (其热导率与金属铝接近 ) ,电子注通过高频系统进入收集极内筒产生的热量可直接被ＢｅＯ瓷棒导走 ,降低收集极工作温度。我们知道 ,行波管在优化的排气工艺条件下 ,收集极必然要承受几百摄氏度的温度 ,而且其内部的真空度一般也很高 ,严格来说 ,此时ＢｅＯ散热棒的高绝缘体特性 (10 4ＭΩ)不会发生改变。但是测量发现 ,上排气台后ＢｅＯ瓷棒的绝缘性能已经不能…
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| 关 键 词： | 高功率行波管 收集极 BeO瓷 表面分析 瓷棒 X射线面扫描 金相显微镜 氧化铍 |
Surface analysis of BeO ceramics for high power TWT collector |
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