高速率沉积AlN薄膜的磁控管溅射系统稳定性期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

按检索

高速率沉积AlN薄膜的磁控管溅射系统稳定性

引用本文：	马兵.高速率沉积AlN薄膜的磁控管溅射系统稳定性[J].等离子体应用技术快报,2000(2):19-20.

作者姓名：	马兵

摘要：
关键词：	高速率沉积 AlN薄膜磁控管溅射系统稳定性
本文献已被维普等数据库收录！