| 离子注入机的国内外现状 |
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| 引用本文： | 杨洪普,颜亨迪.离子注入机的国内外现状[J].微细加工技术,1992(2):1-14. |
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| 作者姓名： | 杨洪普 颜亨迪 |
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| 作者单位： | 机械电子工业部第48研究所，机械电子工业部第48研究所 长沙 410111，长沙 410111 |
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| 摘 要： | 本文简要介绍了离子注入和器件的关系,概述了离子注入机的发展现状和趋势,初步探讨了我国离子注入机不能形成产业的原因。
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| 关 键 词： | 离子注入 离子注入机 |
THE PRESENT CONDITIONS OF INTERNAL AND EXTERNAL ION IMPLANTERS |
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| Yang Hongpu Yan Hengdi.THE PRESENT CONDITIONS OF INTERNAL AND EXTERNAL ION IMPLANTERS[J].Microfabrication Technology,1992(2):1-14. |
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| Authors: | Yang Hongpu Yan Hengdi |
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| Abstract: | The relations between the ion implantation and devices are briefly introduced. The recent situation and development tendency of ion implanter outlined. The reasons why the industry for manufacturing ion implanter can not be formed in our country are preliminary analysed. |
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| Keywords: | ion implantation ion implanter |
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