| 两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究 |
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| 引用本文： | 韩修训 阎鹏勋 等. 两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究[J]. 摩擦学学报, 2002, 22(3): 175-179 |
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| 作者姓名： | 韩修训 阎鹏勋 等 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000
2. 兰州大学,等离子体与金属材料研究所,甘肃,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助 ( 1 0 0 740 2 2 ) |
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| 摘 要： | 分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了 Ti N涂层 ,采用 X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜对涂层的结构及形貌进行了表征 ;利用纳米压痕仪测定了涂层的硬度 ;在 DF- PM型动摩擦系数精密测定仪上考察了涂层的摩擦学性能 .结果表明 :与采用直流磁控溅射法在 40 0℃基底上制备的 Ti N涂层相比 ,采用磁过滤沉积装置在室温下制备的 Ti N涂层更加致密 ,表面平滑 ,最大硬度达 3 5 GPa,摩擦系数明显较小 ( 0 .1～ 0 .4) ,耐磨性较好
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| 关 键 词： | TiN 涂层 磁过滤阴极弧等离子体 纳米压入 PVD 结构 性能 |
| 文章编号： | 1004-0595(2002)03-0175-05 |
| 修稿时间： | 2001-08-27 |
Structure and Tribological Properties of TiN Coatings Deposited with Two Different PVD Methods |
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| HAN Xiu xun,YAN Peng xun,YAN Feng yuan,LIU Wei min,YU Hua yang,XU Jian wei,WU Zhi guo. Structure and Tribological Properties of TiN Coatings Deposited with Two Different PVD Methods[J]. Tribology, 2002, 22(3): 175-179 |
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| Authors: | HAN Xiu xun YAN Peng xun YAN Feng yuan LIU Wei min YU Hua yang XU Jian wei WU Zhi guo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiN coatings filtered cathodic arc plasma nano indentation PVD structure performance |
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