| SnO2薄膜的激光化学雾状沉积 |
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| 引用本文： | 韦文楼 张兵临. SnO2薄膜的激光化学雾状沉积[J]. 广西大学学报(自然科学版), 1996, 21(1): 14-17 |
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| 作者姓名： | 韦文楼 张兵临 |
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| 作者单位： | 广西大学物理系，郑州大学物理系 |
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| 摘 要： | 把ＣＯ２激光聚焦在玻璃基底上的小区域内，热解ＳｎＣｌ４·５Ｈ２Ｏ来实现ＳｎＯ２薄膜的沉积。用Ｘ－Ｙ扫描获得了选择性薄膜图形。薄膜的电阻率约为１×１０（－２）Ω·ｍ，可见光谱区透射率为７５％～８０％．用Ｘ射线衍射对膜层进行了物相分析，判定ＳｎＯ２薄膜基本为多晶结构，其最优方向为（１１０）。此外，还用扫描电子显微镜观察了薄膜的表面形貌。
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| 关 键 词： | 薄膜 激光器 激光化学沉积 二氧化锡 半导体 |
Laser-induced Chemical Mist Deposition of SnO_2 Thin Film |
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| Wei Wenloul, Zhang Binglin. Laser-induced Chemical Mist Deposition of SnO_2 Thin Film[J]. Journal of Guangxi University(Natural Science Edition), 1996, 21(1): 14-17 |
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| Authors: | Wei Wenloul Zhang Binglin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SnO_2 thin film CO_2 laser laser-induced chemical mist deposition |
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