| 用于光电子器件的低成本、高反射率SOR衬底 |
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| 引用本文： | 李成,杨沁青,王红杰,王启明.用于光电子器件的低成本、高反射率SOR衬底[J].半导体学报,2001,22(3):261-264. |
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| 作者姓名： | 李成 杨沁青 王红杰 王启明 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室，北京100083 [2]中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);2000036603; |
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| 摘 要： | 报道了一种包含一薄层单晶硅和隐埋 Si/Si O2 布拉格反射器的 SOR衬底 .这种可用于光电子器件的衬底是由硅基乳胶粘接和智能剥离技术研制而成的 .在垂直光照条件下 ,这种 SOR衬底在 1.3μm处的反射率接近10 0 %
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| 关 键 词： | SOR SiO2/Si布拉格反射器 智能剥离技术 光电子器件 光探测器 |
| 文章编号： | 0253-4177（2001）03-0261-04 |
| 修稿时间： | 2000年9月22日 |
Low-Cost, High-Reflectivity Silicon-on-Reflector for Optoelectronic Device Application |
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| LI Cheng,YANG Qin-qing,WANG Hong-jie,WANG Qi-ming.Low-Cost, High-Reflectivity Silicon-on-Reflector for Optoelectronic Device Application[J].Chinese Journal of Semiconductors,2001,22(3):261-264. |
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| Authors: | LI Cheng YANG Qin-qing WANG Hong-jie WANG Qi-ming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon on reflector SiO 2/Si Bragg reflector smart cut technique optoelectronic device photodetector |
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