| 闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟 |
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| 引用本文： | 李晓莹,吴焱,虞益挺,刁金帅,闫治晚.闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟[J].光子学报,2016(4):49-53. |
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| 作者姓名： | 李晓莹 吴焱 虞益挺 刁金帅 闫治晚 |
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| 作者单位： | 西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室,西安710072;西北工业大学 陕西省微纳机电系统重点实验室,西安710072 |
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| 基金项目： | 航空科学基金(No.2013ZC53036)、国家自然科学基金(No.51375400)、教育部新世纪优秀人才支持计划、中央高校基本科研业务费重大项目培育基金(No.3102014JC02020504)和全国优秀博士论文作者专项资金(No.201430)资助，The Aeronautical Science Foundation of China (No.2013ZC53036) |
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| 摘 要： | 基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明:设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%,比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上,最大工作闪耀角为6.84°;当532nm波长垂直入射时,0~10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.
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| 关 键 词： | 微型可编程光栅 闪耀角可调 硅微加工 微机电系统 衍射效率 |
Optimization Design and Numerical Simulation of Micro Programmable Gratings with Tunable Blazed Angle |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro programmable gratigns Tunable blazed angle Silicon micromachining Microelectromechanical systems Diffraction efficiency |
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