| 波长调谐干涉测量的相移标定方法 |
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| 引用本文： | 田爱玲,马迪,王大森,刘剑,刘丙才,朱学亮.波长调谐干涉测量的相移标定方法[J].光子学报,2016(7):150-154. |
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| 作者姓名： | 田爱玲 马迪 王大森 刘剑 刘丙才 朱学亮 |
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| 作者单位： | 1. 西安工业大学陕西省薄膜与检测技术重点实验室,西安,710021;2. 中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波,315103 |
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| 基金项目： | the Science and Technology Department of Shaanxi Province(No.2014KW05)国家国际科技合作专项项目(No.2015DFA10360)、兵器预研支撑基金(No.9140A18020114BQ03251)和陕西省科技厅项目(No.2014KW05)资助 |
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| 摘 要： | 基于菲索干涉的变频相移技术,提出一种分步相移标定方法.生成n组t步相移干涉图,每步相移为π/2;将每步的n组干涉图分别与初始干涉图做相乘和傅里叶变换运算,在此基础上构建每步相移的误差函数;通过求取误差函数极值点来实现对每步相移值的准确标定.结果表明,该标定方法的标定准确度优于传统标定方法,且标定准确度提高了2~3个数量级.该方法不仅避免了传统相移标定中存在的随机误差,也彻底消除了累积误差.
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| 关 键 词： | 干涉测量 变频相移 相移标定 菲索干涉 傅里叶变换 |
Phase-shifting Calibration Method of Wavelength-shifting Interference Measurement |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Interferometry Wavelength tuning phase-shifting Phase-shifting calibration Fizeau interferometry Fourier transform |
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