倾斜相移闭合干涉图的非迭代相位提取方法 |
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引用本文: | 徐建程,侯园园,陈曌. 倾斜相移闭合干涉图的非迭代相位提取方法[J]. 光子学报, 2016, 0(2): 1-6. DOI: 10.3788/gzxb20164502.0212001 |
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作者姓名: | 徐建程 侯园园 陈曌 |
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作者单位: | 浙江师范大学信息光学研究所,浙江金华,321004 |
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摘 要: | 针对带倾斜相移误差的闭合干涉图,提出一种非迭代的高精度相位提取方法.该方法用傅里叶变换估计闭合条纹的相位,并用图像分割校正相位的符号,然后利用Zernike多项式拟合确定倾斜相移量,最后用最小二乘拟舍得到高精度相位.数值模拟结果表明:该方法的相位提取误差随着干涉图中条纹根数的增多而减小;当干涉图中条纹根数为4.5时,倾斜相移的估计误差为0.37%.实验结果表明该方法的残余误差均方根值为0.121 7rad.该方法精度高,且无需迭代计算,可应用于相移干涉测量.
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关 键 词: | 相移干涉测量 条纹分析 傅里叶变换 闭合干涉图 倾斜相移误差 |
Non-Iterative Phase Extraction from Closed Interferograms with Tilt Shifts |
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Abstract: | |
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Keywords: | Phase shifting interferometry Fringe pattern analysis Fourier transform method Closed interferogram Tilt-shift error |
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