| 傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜和动态校准研究 |
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| 引用本文： | 冯明春,徐亮,金岭,刘文清,高闽光,李胜,李相贤,童晶晶,刘建国.傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜和动态校准研究[J].光子学报,2016(4):163-167. |
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| 作者姓名： | 冯明春 徐亮 金岭 刘文清 高闽光 李胜 李相贤 童晶晶 刘建国 |
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| 作者单位： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 中国科学院环境光学与技术重点实验室,合肥,230031 |
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| 基金项目： | 国家重大科学仪器设备专项(No.2013YQ22064302)、中国科学院战略性先导科技专项(No.XDB05050302)、国家自然科学基金(No.41405029)和安徽省科技攻关计划(No.1301041024)资助，The National Key Scientific Instrument and Equipment Project(No.2013YQ22064302) |
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| 摘 要： | 分析了迈克尔逊干涉仪中动镜和定镜在圆形通光孔径情况下动镜在扫描过程中倾斜对干涉调制度的影响.为满足干涉调制度要求,理论计算发现动镜倾斜角度需控制在1″以内,对应的相位误差为±6.6°以内.为了解决此问题,使动镜和定镜保持准直,采用定镜动态校准系统对动镜倾斜误差进行校准.实验结果表明,校准后的XR和YR相位误差的均方根分别为1.02°和1.25°,满足系统要求.动态校准系统能够有效地校准动镜长距离运动过程中发生的倾斜误差,对高分辨光谱仪的设计和研制具有一定的指导意义.
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| 关 键 词： | 迈克尔逊干涉仪 动镜倾斜 调制度 相位差 动态校准 |
Tilt and Dynamic Alignment for the Moving Mirror in the Fourier Transform Infrared Spectrometer |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Michelsoninterferometer Tilting of the moving mirror Modulation depth Phase error Dynamic alignment |
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