用溅射的SiO_2膜作为锌扩散掩模制作GaInAsP/InP平面条形激光器

本文研究了用溅射的 SiO_2膜作为锌扩散掩模制作的 GaInAsP/InP 双异质结平面条形激光器的激射特性对条宽的依赖关系。条宽10、15、20μm的激光器以基模模式工作,每面微分量子效率大于20%,而条宽5μm 的激光器即使正好在阈值以上也以多横模工作。而且条宽5μm 激光器的阈值电流大大增加,与条宽较大的条形激光器相比,其激射波长向更短的波长漂移。条宽15μm 的激光器显示出良好的模式特性,直到输出功率为每面22mW 时仍都以基横模工作,而且在较宽的电流范围内以单纵模工作。本文讨论了这种激射特性对条宽依赖关系的形成原因,并且假设用溅射的 SiO_2作掩模进行条区锌扩散是造成这种依赖关系的主要原因。