| 用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作 |
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| 引用本文： | 王宇,陈火耀,刘正坤,郑衍畅,洪义麟,付绍军.用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作[J].光子学报,2015,44(4). |
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| 作者姓名： | 王宇 陈火耀 刘正坤 郑衍畅 洪义麟 付绍军 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029 |
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| 摘 要： | 介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明,该工艺可重复性高,复制光栅尺的衍射效率高于母光栅尺的90％,并能承受航空环境-55℃～70℃的高低温冲击.光栅尺的制作准确度满足传感器的要求,信号响应准确率100％.该方法可对具有准确度高、图形复杂、工作环境恶劣等特点的微纳米结构的制作提供借鉴.
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| 关 键 词： | 光学位移传感器 编码光栅 复制技术 紫外光刻 全息光刻 光传操纵系统 |
Fabrication Process of a Novel Digital Encoding Grating Ruler for Optical Displacement Sensors |
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| WANG Yu,CHEN Huo-yao,LIU Zheng-kun,ZHENG Yan-chang,HONG Yi-lin,FU Shao-jun.Fabrication Process of a Novel Digital Encoding Grating Ruler for Optical Displacement Sensors[J].Acta Photonica Sinica,2015,44(4). |
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| Authors: | WANG Yu CHEN Huo-yao LIU Zheng-kun ZHENG Yan-chang HONG Yi-lin FU Shao-jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Optical displacement sensor Encoding grating Replication technique UV lithography Holographic lithography Aircraft control systems |
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