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| 电子束半导体掺杂 | |
| 引用本文： | 于志战.电子束半导体掺杂[J].半导体技术,1990(1):33-38. |
| 作者姓名： | 于志战 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 本文扼要介绍了国内外有关电子束半导体掺杂方面的实验技术,掺杂机理研究以及电子束半导体掺杂实用性等问题.提出了今后要进一步深入研究的几个问题. |
| 关 键 词： | 电子束 半导体 掺杂 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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