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| 硅尖的制备 | |
| 引用本文： | 王艳华,孙道恒.硅尖的制备[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 王艳华 孙道恒 |
| 摘 要： | 隧道硅尖的制备是微机械隧道传感器制作的一个重要组成部分,通过对ICP刻蚀和湿法各向异性刻蚀工艺制备硅尖实验的研究,得到了合适的工艺条件以及较理想的硅尖. |
| 关 键 词： | 硅尖 各向异性刻蚀 ICP |
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