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| 确定三层增透膜层厚的方法 | |
| 作者姓名： | Р. ЕБ 黄祥成 |
| 摘 要： | 目前,在镀制多层增透膜时所用的方法是:利用真空蒸发膜料并按石英晶体振荡频率ω连续控制分层厚度 h_J(J 是从基底算起的层数)。当ω的变化达到预定值Δω_1时,就停止 J 层的淀积。在镀制时,每制备一组增透膜最好都有层厚的控制方法。这样就可调节频率Δω,以便使实际的层厚近似于技术程序所规定的最佳层厚 h_J,并且保证增透 |
| 关 键 词： | 增透膜 厚度 薄膜 |
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