变位检测方式的超微型硬度计

一、前言随着近代薄膜生产技术的发展,形形色色的薄膜被广泛应用起来。然而关于薄膜自身机械性能的检测却还没有一个统一而有效的方法。目前对超低负荷压痕硬度检测不能间接反映薄膜强度,因此有必要研制新式的硬度试验装置。